化学組成：純粋なジルコニウム（ZR）またはジルコニウム合金（ジルコニウム - ハフニウム合金ZR-HF合金など）で作られています。
構造形式：一般的な形式には、ラウンドターゲットと長方形のターゲットが含まれます。
寸法精度と表面の品質：高次元精度と表面仕上げが必要です。表面は滑らかで、亀裂がなく、明らかな毛穴や不純物はありません。
密度：スパッタリング中に安定性とフィルムの品質を確保するために、高密度を達成する必要があります。
高純度ジルコニウムターゲット製品画像ディスプレイ
光学コーティングのジルコニウムターゲット
回転ジルコニウムターゲット
