80% WTi
1. 目標維持
スパッタリングプロセス中に汚れたキャビティによって引き起こされる短絡やアーク放電を回避するために、スパッタリングトラックの中央と両側に蓄積されたスパッタリング物質を定期的に除去する必要があります。これにより、ユーザーは高電力密度で継続的に操作してスパッタリングを実行できます。
2. ターゲットストレージ
ターゲット（金属またはセラミック）は真空包装で保管することをお勧めします。特に、ラミネーション ターゲットは、ラミネーション層の酸化がラミネーション品質に影響するのを防ぐために、真空状態で保管する必要があります。金属ターゲットの梱包に関しては、少なくとも清潔なビニール袋に梱包することをお勧めします。
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3. ターゲットのクリーニング
最初のステップは、アセトンに浸した柔らかく糸くずの出ない布で清掃することです。
2 番目のステップは最初のステップと同様で、アルコールを使用して清掃します。
3 番目のステップは、脱イオン水で洗浄することです。脱イオン水で洗浄した後、ターゲットをオーブンに入れて 100 ℃ で 30 分間乾燥させます。酸化物およびセラミック ターゲットの洗浄には、「糸くずの出ない布」を使用することをお勧めします。
4 番目のステップでは、ターゲットを高圧低湿度アルゴンガスでフラッシュし、スパッタリング システムでアーク放電を引き起こす可能性のある不純な粒子を除去します。
4. 短絡およびシール検査
ターゲットを設置した後、カソード全体の短絡と密閉を検査する必要があります。抵抗計を使用して、カソードに短絡があるかどうかを判断することをお勧めします。カソードに短絡がないことを確認した後、漏水チェックを実行し、カソードに水を流して漏水があるかどうかを確認します。
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5. 梱包と輸送
すべてのターゲットは、防湿剤が入った真空密封プラスチック袋に梱包されています。外装は通常、輸送中や保管中にターゲットとバッキングプレートが損傷しないように、周囲に衝突防止層を備えた木箱です。
