高純度99.99%チタンターゲット
高純度チタンターゲットの主な用途は次のとおりです。
1. 生物材料
チタンは非磁性金属であり、強い磁場でも磁化されません。人体との相性が良く、毒性や副作用もありません。人体インプラントの製造に使用できます。一般に、医療用チタン材料は高純度チタンのレベルには達していません。しかし、チタン中の不純物の溶解問題を考慮すると、インプラント用のチタンの純度は可能な限り高くする必要があります。文献には、高純度チタン線が生物学的結合材料として使用できることも記載されています。また、カテーテルに埋め込まれたチタン注射針も高純度チタンレベルに達しています。
高純度チタンターゲット
2. 装飾材料
高純度チタンは大気耐食性に優れ、大気中で長期間使用しても変色せず、チタン本来の色彩を保つため、建築装飾材としても利用されています。また、近年では、チタンの耐腐食性、無変色性、長続きする良好な光沢、人体皮膚との接触による非アレルギー性などの特性を生かして、ブレスレット、時計、眼鏡フレームなどの高級装飾品やウェアラブル製品にもチタンが使われるようになりました。一部の装飾品に使用されているチタンの純度は5Nレベルに達しています。
Tiターゲット
3. 呼吸する素材
チタンは化学的に非常に活性な金属であり、高温で多くの元素や化合物と反応します。高純度チタンは活性ガス（O2、N2、CO、CO2、650度以上の水蒸気など）に対する強力な吸着能力を備えています。ポンプ壁に蒸着したTi膜は、高い吸着能力を持つ表面を形成できます。この特性により、Tiは超高真空ポンプシステムのゲッターとして広く使用されています。昇華ポンプ、スパッタリングイオンポンプなどに使用すると、スパッタリングイオンポンプの最終動作圧力は最低10-9Paになります。
